<cite id="9d9pv"><var id="9d9pv"><form id="9d9pv"></form></var></cite>

    <em id="9d9pv"></em><address id="9d9pv"></address>
    <sub id="9d9pv"><listing id="9d9pv"><listing id="9d9pv"></listing></listing></sub>
      <address id="9d9pv"><listing id="9d9pv"><progress id="9d9pv"></progress></listing></address>

        <form id="9d9pv"></form>

          <address id="9d9pv"><nobr id="9d9pv"><meter id="9d9pv"></meter></nobr></address>
          <address id="9d9pv"></address><address id="9d9pv"><form id="9d9pv"><nobr id="9d9pv"></nobr></form></address>
          <address id="9d9pv"><listing id="9d9pv"><menuitem id="9d9pv"></menuitem></listing></address>

            <form id="9d9pv"><th id="9d9pv"><progress id="9d9pv"></progress></th></form>

            <form id="9d9pv"><nobr id="9d9pv"><progress id="9d9pv"></progress></nobr></form>

            <noframes id="9d9pv">
            新闻动态News
            产品知识Product Knowledge
            产品导航Products Navigation
            您目前所在的位置:产品知识_正岛电器
            浏览:5281
            洁净室内相对湿度控制的必要性 [2006-11-28]来源:www.sh-lstt.com

            这些年里,在这些规定范围中保持处理空气过程,使我们必需承担资金和营运费用。但是为什么值得花费这么多钱用在洁净室中控制相对湿度呢?

            相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%则会让人感觉干燥,皮肤皲裂,呼吸道不适以及情感上的不快。
             
            相对湿度是洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区──或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小──而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 

            道理很简单!因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括:

            ● 细菌生长;
            ● 工作人员感到室温舒适的范围;
            ● 出现静电荷;
            ● 金属腐蚀;
            ● 水汽冷凝;
            ● 光刻的退化;
            ● 吸水性。

            细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。

            高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。

            相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中,半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

            很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层;ば偷难趸,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有;つ芰Φ,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。

            在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应──凯尔文浓缩──当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。

            实际上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的;つさ暮穸。参考两个城市,一个试验证实,相对湿度的3%的变异将使;ず穸雀谋59.2 A (原文如此)。

            此外,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。

            在半导体洁净室中控制相对湿度不是随意的。但是,随着时间的变化,最好回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。到目前为止,在半导体洁净室中最迫切需要适度控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的。


            您可能还对以下内容感兴趣...

            相关连接 :     1.  湿空气      2.  湿度概念

            您可能还对以下内容感兴趣...

            1. 气溶胶喷雾器对空气消毒效果观察 / 2009-9-12
            2. 统计学_名词中文_英语对照 / 2009-4-14
            3. 食品行业_分析常用词汇 / 2009-4-14
            4. 制冷剂_安全分组类别 / 2009-4-11
            5. 制冷剂的分类_特性 / 2009-4-11
            欢迎您提出宝贵的意见和建议,您提交的任何信息,都将由我们专人负责处理。如果不能解决您的疑问,请您联系我们。
            留言框    
            您的单位: *
            您的姓名: *
            联系电话: *
            详细地址:  
            常用邮箱:  

             暂无评论或反馈意见!
            腾讯分分彩信誉平台_腾讯分分彩官网_A爱彩 http://so.iqiyi.com/pps/?k=永胜彩票网a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_怎样用淘宝买彩票a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=彩友会彩票模板a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/彩票app是真的吗28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=微信创区群玩幸运农场a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票pk10官网a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/彩票打油诗a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_幸运飞艇8码公式技巧a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/体育彩票18期开奖号码a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_重庆幸运农场系统a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/广东快乐十分天天计划28c63。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运飞艇号码统计a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=北京双彩票真图片大全a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=2019微信彩票在哪里买a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分代购a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=pc蛋蛋外围娱乐群a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=广东快乐十分同步开奖a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/好运彩票娱乐a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_掌上彩票是不是合法的a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇开奖直播2016a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=600彩票怎么创建团队a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=北京赛车pk10直播汕头a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=广东快乐十分改单2013a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=福利彩票全国开奖结果a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票追加什么意思a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/99彩票网页登录a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_今天的彩票指南的报纸a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇怎么开奖a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=87彩票登录系统a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运农场定位技巧28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_pk10统计网站a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇分析站a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=身边人中彩票a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/pk10冠亚小单1.8a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_重庆幸运农场昨天开奖结果查询a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=北京pk10模式新凤凰a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=众乐彩票a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_幸运农场在线人工计划a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/广东快乐十分钟网a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分投注网a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运农场网络版a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=龙江风采福利彩票3da9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=pk10质数合数a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/pk10葡萄软件a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_网易彩票不能买了吗a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=500万彩票网 上市公司a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运农场特准a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=查重庆幸运农场走势图a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/pk10杀号a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_幸运飞艇公式a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=聚星福彩a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/福利彩票哪个是篮球a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分技巧大全a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇苹果软件下载a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/北京pk10娱乐a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_彩票二维码2019年1月28a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=重庆幸运农场定胆技巧a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=金山彩票不能买了吗a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运飞艇冠亚组合人工计划a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=369彩票是正规的吗a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运飞艇怎么注册a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/九九彩票lll必中8码28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_重庆幸运农场定位技巧a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=北京pk10冠军玩法a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/买彩票真的能中500万a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_幸运飞艇pk10手机计划软件a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇官网开奖视频a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=秒速赛车前五后五技巧a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/北京赛车pk10福利彩票a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分稳a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=pk10走势图分析a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=pk10自动投注a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/秒速赛车彩票正规吗a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=官方彩票软件a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票打出来可以取消吗a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=pk10两期计划a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运农场机选28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_pk10官网走势图a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=开5个号码的幸运飞艇a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=在香港如何买彩票a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/海南彩票网808版28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_大奖彩票平台怎么样a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=北京赛车pk10开奖记录统计a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=北京皇家pk10开奖官网a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/哪里玩北京赛车pk1028c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=秒速快三a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票分析家a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运农场预测手机软件a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/福利彩票软件下载手机28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=菲律宾1.5分彩开奖计划a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=乐彩网广东快乐十分a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=春节彩票不开门a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运农场幸运三28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_快赢彩票经营多少年了a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇免费参考图a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/重庆福彩幸运农场开奖结果a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运农场在微信群a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=9188彩票是正规的吗a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运农场三连中技巧a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/福利彩票上海分公司28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=北京赛车1码定位a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=中马堂网站零二期中特a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/高频彩票开奖原理a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_买彩票有哪些软件a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=众购彩票网平台怎么样a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/快三手机版资讯a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_福彩幸运农场技巧a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=福彩北京赛车pk10a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=pk10冠军软件精准a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运飞艇2期在线计划28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_pk10赛车群a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=重庆幸运农场怎么玩a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=爱投彩票可靠么a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运飞艇千禧投注平台28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=玩广东快乐十分技巧a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=广东快乐十分彩乐a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运农场开奖平台a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=时时中彩票是真的吗a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=幸运飞艇号码规律a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/十分钟开一次的彩票a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_幸运飞艇和北京赛车官网a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=彩票中的概率学a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运飞艇和北京赛车官网a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/秒速时时彩盛世a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运飞艇技巧走势图28c63。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=福利彩票七乐彩怎么选a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/双色球2019015期彩票28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运娱乐彩票软件a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=九州彩票网址是什么a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=北京pk10代理加盟a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票数据哪里买a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运飞艇7码怎么买a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/手机上买彩票怎么取票28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=玉树州时时彩qq群号a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=重庆幸运农场有直播吗a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=大通彩票网是真的吗a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/彩运来彩票官网28c63。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=查重庆幸运农场走势图a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/pk10怎么投注a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分公式规律a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=玛雅时时彩a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/重庆幸运农场龙虎规则a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_利澳彩票娱乐a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇规律计划a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=中国体育彩票技巧a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/广东快乐十分前三组图表28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_北京pk10赛车开奖视频a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=秒速赛车计划软件a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=微信总有彩票竞猜a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/北京赛车怎样拉玩家28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_鹿鼎娱乐彩票平台a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=卓易彩票不能注册了a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=必赢客pk10软件手机版a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/鹿鼎平台a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/北京pk10一天都多少期28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运农场是什么意思a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=微信怎么添加彩票功能a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/彩票签到送现金a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=秒速时时彩平台官网a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=pk10极速赛车计划网页a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/彩客竞彩彩票官网a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运农场基本走势图28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_体育彩票1.7亿得主视频a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=重庆幸运农场走势a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=幸运之门彩票网推荐a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/彩票结果查询28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_广东快乐十分下注赔率表a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=乐玩彩票a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=北京pk10开奖上鼎狐网a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=大运彩票网合法吗a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=pk10历史记录a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/广东快乐十分分析软件a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/彩票的代理怎么做28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=幸运飞艇群qq群a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=广东快乐十分开奖记录今天a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=pk10北京赛车免费参考a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/环球国际幸运飞艇群28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_关于彩票好听的网名a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=幸运飞艇手机直播网站a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=幸运农场幸运三开奖结果a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/北京赛车pk10天涯a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_秒速时时彩走势图a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=九宫图在彩票中的运用a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=嘉美彩票登陆a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/双色球彩票如何选号码a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/幸运飞艇开奖全国统一?28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_福建做私营彩票软件a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=今晚体育彩票开奖号码a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/重庆幸运农场在线计划a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/so/q_微信幸运农场外围a9840。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=北京pk10微信软件a9840。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=幸运农场幸运五复式a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/天空彩票五行28c63。com 复制登录 http://www.douban.com/search?q=pk10计划淘宝软件a9840。com 复制登录 http://malcolmhead.com http://so.iqiyi.com/pps/?k=秒速赛车时间a9840。com 复制登录 http://www.xiachufang.com/search/?keyword=彩票最高注a9840。com 复制登录 http://www.youdao.com/w/幸运飞艇有靓计划吗a9840。com 复制登录 http://cn.engadget.com/tag/体育彩票怎么查询结果28c63。com 复制登录 http://so.iqiyi.com/pps/?k=彩票最准确的软件a9840。com 复制登录